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隨著電子設(shè)備和電子元件越來(lái)越小、越來(lái)越復(fù)雜,這些元件上所做的金屬修飾面也變得越來(lái)越小型化——如更薄的鍍層——更嚴(yán)格的偏差控制。如果鍍層厚度低于給定指標(biāo),產(chǎn)品將不符合性能要求,且可能會(huì)過(guò)早出現(xiàn)故障,從而導(dǎo)致保修索賠和聲譽(yù)受損。如果鍍層太厚,將造成材料和成本浪費(fèi),并且進(jìn)而可能引起機(jī)械貼合問(wèn)題,從而導(dǎo)致報(bào)廢或高昂的返工費(fèi)用。
因?yàn)槭欠瞧茐男缘目焖?、直接測(cè)量,X射線(xiàn)熒光(XRF)成為一種廣泛使用的鍍層厚度和成分測(cè)量技術(shù)。為測(cè)量小型化的鍍層,傳統(tǒng)XRF分析儀使用機(jī)械準(zhǔn)直裝置將X射線(xiàn)管的光束尺寸減小到幾分之一毫米。這一過(guò)程通過(guò)在X射線(xiàn)管前方設(shè)置一塊鉆有固定形狀小孔的金屬塊來(lái)實(shí)現(xiàn),僅允許與孔對(duì)準(zhǔn)的X射線(xiàn)穿過(guò)并到達(dá)樣品。絕大多數(shù)X射線(xiàn)輸出不能用于分析,而是被準(zhǔn)直器塊阻擋吸收于儀器內(nèi)部。
最新的微小測(cè)量點(diǎn)測(cè)試解決方案是使用毛細(xì)聚焦管光學(xué)元器件。這是一個(gè)聚焦光學(xué)元件,由一組彎曲為錐形的細(xì)小玻璃管組成。X射線(xiàn)通過(guò)反射引導(dǎo)穿過(guò)管道,類(lèi)似于光纖技術(shù)中的光引導(dǎo)方式。毛細(xì)聚焦管光學(xué)元件與微束X射線(xiàn)管匹配以收集更多的X射線(xiàn)管輸出。其焦斑小區(qū)域上的X射線(xiàn)強(qiáng)度比機(jī)械準(zhǔn)直系統(tǒng)高出幾個(gè)數(shù)量級(jí)。XRF鍍層測(cè)厚儀中的毛細(xì)聚焦管光學(xué)元件可帶來(lái)以下的優(yōu)勢(shì):
更小的點(diǎn)位測(cè)量
更薄的鍍層測(cè)量
更高的測(cè)試量和更高的置信度
更符合測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)
無(wú)疑這些優(yōu)勢(shì)將為鍍層測(cè)試的能力帶最大的提升。
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