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強(qiáng)化自動獲取大量數(shù)據(jù)功能 實現(xiàn)高效率觀察 日立高新技術(shù)公司（以下簡稱日立高新技術(shù)）此次推出兩款FE-SEM*1“SU8600”和“SU8700”（以下簡稱此系列產(chǎn)品），這兩種型號配置自動獲取大量數(shù)據(jù)的功能。 FE-SEM是用于觀察、測量和分析樣品細(xì)微結(jié)構(gòu)的場發(fā)射掃描電子顯微鏡，因此被廣泛用于半導(dǎo)體、生命科學(xué)和材料研發(fā)等領(lǐng)域。未來，數(shù)據(jù)驅(qū)動開發(fā)的進(jìn)步需要龐大的數(shù)據(jù)支撐，為此，日立高新技術(shù)特推出此系列產(chǎn)品，支持短時間內(nèi)獲取大量數(shù)據(jù)，減輕用戶的負(fù)擔(dān)。 *1. FE-SEM：Field Emission Scanning Electron Microscope（場發(fā)射掃描電子顯微鏡）
場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600(左)/SU8700(右)
· 產(chǎn)品開發(fā)背景 ·
FE-SEM獲得的圖像分辨率高，信息豐富，樣品處理相對簡單，并且它可以觀察、測量并分析樣品的細(xì)微結(jié)構(gòu)，因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、半導(dǎo)體、電子器件、生命科學(xué)、材料等領(lǐng)域。
近年來，以Materials Integration*2為代表，其應(yīng)用領(lǐng)域及用途在不斷擴(kuò)展，短時間內(nèi)獲取大量數(shù)據(jù)，減輕作業(yè)負(fù)荷成為市場的一大需求。為滿足這一需求，此次特推出SU8600和SU8700，這兩種型號是在日立不斷改進(jìn)與沉淀的具有高分辨性能的FE-SEM基礎(chǔ)上，進(jìn)一步優(yōu)化了自動化功能，以快速獲取大量數(shù)據(jù)。
*2. Materials Integration：是一項綜合性材料研發(fā)技術(shù)，以縮短材料研發(fā)周期為目的，整合運(yùn)用了理論/實驗/數(shù)據(jù)分析/模擬/數(shù)據(jù)庫。
在細(xì)微結(jié)構(gòu)分析中，SU8600可以實現(xiàn)低加速電壓觀察，對高分子等易受電子束照射影響的材料進(jìn)行高分辨觀察。SU8700可配置各種分析附件，適用于從低加速觀察到高束流的EBSD*3分析，支持陶瓷、金屬等不同材料的解析。 此系列產(chǎn)品主要具有以下三大特點： 在FE-SEM的觀察和分析中，需要根據(jù)測量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時間的長短取決于用戶的操作熟練度，這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標(biāo)配自動調(diào)整功能，可避免人為操作導(dǎo)致的差異。 此外，隨著儀器性能的提升，需要獲取的數(shù)據(jù)種類與數(shù)量也在增加，手動獲取各種大量數(shù)據(jù)會大大增加用戶的作業(yè)負(fù)擔(dān)。此系列產(chǎn)品可選配“EM Flow Creator”，用戶可根據(jù)自身需求設(shè)定條件，自動獲取數(shù)據(jù)，這對于未來通過獲取大量數(shù)據(jù)實現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動開發(fā)起到重要作用。 2．增加獲取信息的種類與數(shù)量 通過SEM能夠收集到多種信號，且此系列產(chǎn)品最多可以同時顯示和存儲6個檢測器的信號。在減少圖像獲取次數(shù)的同時能夠獲取多種信息。 此外，為一次性獲取大量信息，最大像素擴(kuò)展到了40,960 x 30,720*5，是當(dāng)前型號*4的64倍。利用這一功能，可憑借一張數(shù)據(jù)圖像有效評估多處局部的細(xì)微結(jié)構(gòu) 3．增強(qiáng)信號檢測能力 SU8600開發(fā)了多個新型選配檢測器，加強(qiáng)了對凹凸信息、發(fā)光信息的檢測能力。此外，還提高了背散射電子信號檢測的響應(yīng)速度。 SU8700的樣品倉設(shè)計巧妙，可使用短WD*6進(jìn)行EDS*7分析，通過提高EDS分析的空間分辨率，能夠?qū)崿F(xiàn)更微小部位的分析。 *3. EBSD：Electron Back Scatter Diffraction（電子背散射衍射）。一種用于晶體樣品取向分析的方法。 *5. 選配，可擴(kuò)展 *6. WD：Working Distance. （工作距離：SEM物鏡與樣品間的距離） *7. EDS：Energy Dispersive X-ray Spectroscopy（能譜儀）
*4. 與Regulus系列FE-SEM對比
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