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場發(fā)射掃描電鏡SU5000產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、二次電子分辨率：2.0nm at 1kv
2、高效PD-BSD，超強(qiáng)的低加速電壓性能，低至100V成像
3、大束流（＞200nA）便于高效微區(qū)分析
4、具有優(yōu)異的低真空（10-300Pa）成像性能，配備高靈敏度低真空探測器（UVD）
5、開倉式快速簡單換樣（最大樣品尺寸：ф200mm*80mmH）
6、微區(qū)分析：EDS，WDS，EBSD等
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